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dc.contributorQuiroga González, Enrique
dc.contributorNieto Caballero, Fabiola Gabriela
dc.contributor.advisorQUIROGA GONZALEZ, ENRIQUE; 48276
dc.contributor.advisorNIETO CABALLERO, FABIOLA GABRIELA; 39981
dc.contributor.authorRuíz Hernández, Alejandra
dc.creatorRUIZ HERNANDEZ, ALEJANDRA; 858640
dc.date.accessioned2021-08-06T05:29:44Z
dc.date.available2021-08-06T05:29:44Z
dc.date.issued2016-07
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/13841
dc.description.abstract"En este trabajo se realizó un estudio del comportamiento del electrodo de Si delimitado por fotolitografía bajo condiciones de grabado electroquímico alcalino en presencia de campo eléctrico. A partir de lo anterior se muestra cómo se modifica la morfología del grabado selectivo en muestras de Si tipo p (100), aplicando valores de voltaje diferentes. También se infirió una dependencia de la velocidad de grabado con la polarización del electrodo de Si y el comportamiento físico-químico en la interfaz Si/electrolito."es_MX
dc.formatpdfes_MX
dc.language.isospaes_MX
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0es_MX
dc.subject.classificationBIOLOGÍA Y QUÍMICAes_MX
dc.subject.lccFotolitografíaes_MX
dc.titleGrabado electroquímico de silicio en electrolitos a base de KOHes_MX
dc.typeTesis de licenciaturaes_MX
dc.folio435116TLes_MX
dc.identificator2es_MX
dc.type.conacytbachelorThesises_MX
dc.type.degreeLicenciaturaes_MX
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ciencias Naturales y de la Saludes_MX
dc.thesis.degreegrantorFacultad de Ciencias Químicases_MX
dc.thesis.careerLicenciatura en Químicaes_MX
dc.rights.accesopenAccesses_MX
dc.audiencegeneralPublices_MX
dc.matricula.creator200828465es_MX
dc.subject.oclcLitografía (Microfabricación)es_MX
dc.subject.oclcSoluciones alcalinases_MX
dc.subject.oclcPozos isotrópicoses_MX
dc.thesis.degreetoobtainLicenciado (a) en Químicaes_MX


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