Quiroga González, EnriqueNieto Caballero, Fabiola GabrielaQUIROGA GONZALEZ, ENRIQUE; 48276NIETO CABALLERO, FABIOLA GABRIELA; 39981Ruíz Hernández, Alejandra2021-08-062021-08-062016-07https://hdl.handle.net/20.500.12371/13841"En este trabajo se realizó un estudio del comportamiento del electrodo de Si delimitado por fotolitografía bajo condiciones de grabado electroquímico alcalino en presencia de campo eléctrico. A partir de lo anterior se muestra cómo se modifica la morfología del grabado selectivo en muestras de Si tipo p (100), aplicando valores de voltaje diferentes. También se infirió una dependencia de la velocidad de grabado con la polarización del electrodo de Si y el comportamiento físico-químico en la interfaz Si/electrolito".pdfspaBIOLOGÍA Y QUÍMICAFotolitografíaTesis de licenciaturaopenAccessLitografía (Microfabricación)Soluciones alcalinasPozos isotrópicos