Alvarado Pulido, José JoaquínGonzález Díaz, Víctor RodolfoALVARADO PULIDO, JOSE JOAQUIN; 43237Gonzalez Díaz, Víctor Rodolfo; 48264González Delgadillo, Juan Manuel2020-10-032020-10-032018-12https://hdl.handle.net/20.500.12371/8118“Los sensores de vibración tienen una gran variedad de aplicaciones, aunque principalmente son utilizados para implementar acelerómetros, para caracterización de sistemas mecánicos o para el monitoreo de diversas maquinas e incluso de motores. Es posible implementar sensores de vibración con distintos métodos, el más eficiente y costoso es mediante la utilización de un láser aprovechando el efecto Doppler, pues el láser es enfocado hacia la superficie vibrante obteniendo un cambio en su frecuencia que es detectado mediante un interferómetro. El objetivo de esta investigación es instrumentar un dispositivo micromaquinado para la medición de la frecuencia de vibraciones en el rango de 5KHz a 20KHz. Por otro lado, se puede hacer por el método capacitivo, éste utiliza una estructura compuesta de dos partes, una fija y otra móvil, de tal forma que cuando el sensor es sometido a vibraciones, la parte móvil comenzará a desplazarse provocando un cambio en la capacitancia total del dispositivo. Otro método es la utilización de estructuras compuestas por materiales piezoresistivos, ya que al deformarse debido a las vibraciones esta cambiará su valor de resistencia, de esta forma es posible relacionar los cambios de la resistencia con las vibraciones”.pdfspaINGENIERÍA Y TECNOLOGÍAMicrómetrosSemiconductoresCircuitos eléctricosInstrumentos de mediciónDetectoresTesis de licenciaturaopenAccess