Alcántara Iniesta, SalvadorSoto Cruz, Blanca SusanaALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119SOTO CRUZ, BLANCA SUSANA; 121129Petlacalco Ramirez, Hector Eduardo2023-10-262023-10-262023-05-29https://hdl.handle.net/20.500.12371/19322"El ZnO es un semiconductor que presenta interesantes características como adecuada estabilidad química y térmica, amplia banda prohibida de transición directa, estructura cristalográfica naturalmente bien definida (wurtzita con orientación preferencial (002)), alta transparencia, no es peligroso para el medio ambiente, además de ser compatible con las técnicas de microfabricación convencionales, el cual puede ser depositado por física de vapor (PVD), RF magnetrón sputtering, capas atómicas (ALD), entre otros, Sin embargo, dichos procesos requieren hacer uso de equipo especializado de alto costo además de estrictas condiciones de entorno para lograr resultados adecuados; contrario a éstos, el método de espray pirólisis ultrasónico ofrece beneficios debido a que es un procesamiento más sencillo y flexible el cual tiene como virtud la posibilidad de variar distintos parámetros durante el proceso obteniendo resultados notables en atmósfera abierta. Es por ello que el objetivo del presente trabajo es diseñar, simular y construir un prototipo microsensor de presión basado en películas de ZnO:F, depositadas por espray pirólisis ultrasónico, como elemento sensitivo sobre una estructura membrana-diafragma de silicio".pdfspaCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRAProcesamiento de señales--Equipos y aparatos--DiseñoSistemas microelectromecánicos--Simulación por computadoraSistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción--InvetigaciónFotolitografíaSistemas microelectromecánicos--MaterialesPelículas delgadasTransductores de presiónTesis de doctoradoopenAccess