Rosendo Andrés, EnriqueDíaz Becerril, TomásPérez Ladrón de Guevara, HéctorROSENDO ANDRES, ENRIQUE; 22044PEREZ LADRON DE GUEVARA, HECTOR; 37383Carranza Sánchez, Ana Cristina2021-01-072021-01-072020-11-06https://hdl.handle.net/20.500.12371/9838"En este trabajo se realizó el depósito sistemático de AZO por la técnica de erosión catódica, modulando la potencia del plasma durante el crecimiento, manteniendo los parámetros de tiempo de depósito, presión de argón, y temperatura constante. Se caracterizaron las muestras obtenidas desde el punto de vista óptico, eléctrico y estructural, mediante espectroscopia de transmitancia y/o absorbancia Uv-vis, efecto Hall, difracción de rayos X, microscopía de fuerza atómica (AFM) y microscopía electrónica de barrido (SEM); permitiendo monitorear los cambios en las propiedades físicas de las películas crecidas."pdfspaCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRACeldas solaresPulverización catódica (Física)Semiconductores dopadosCaracterización de películas delgadas de óxido de zinc con aluminio (AZO) depositadas mediante erosión catódica modulando la potencia de plasma durante el crecimientoTesis de maestríaopenAccessÓxido conductor transparente