Luna López, José AlbertoJosé Francisco, Flores GraciaFlores Martínez, GuillermoLUNA LOPEZ, JOSE ALBERTO; 200808FLORES MARTINEZ, GUILLERMO; 169853Mendoza Conde, Gabriel Omar2021-07-292021-07-292016-05https://hdl.handle.net/20.500.12371/13664"La presente tesis está enfocada en la caracterización óptica y eléctrica de estructuras tipo MOS con SiOx para su posible aplicación en fotodetectores. Se realizaron películas de SiOx con diversos parámetros de fabricación, y se emplearon dos tipos de compuertas, una estructura con compuerta de Aluminio y la otra con FTO (oxido de estaño dopado con flúor). Las películas de SiOx de película delgada tienen propiedades ópticas y estructurales muy interesantes, las cuales pueden ser usadas como capas absorbentes de radiación UV-Visible que pueden ser aplicadas en la fotodetección, esto debido al efecto combinado de los nanocristales de silicio y defectos presentes en la película SiOx".pdfspaINGENIERÍA Y TECNOLOGÍADispositivos optoelectrónicosSemiconductoresFotoconductividadEfecto HallSilicioTesis de licenciaturaopenAccess