Moreno Moreno, MarioMeza Espinoza, Luis OctavioMORENO MORENO, MARIO; 102203Luna Zempoalteca, Xochilt2020-09-232020-09-232018-01https://hdl.handle.net/20.500.12371/7946“La electricidad generada por medio de la conversión de la energía solar, es considerada como una de las fuentes alternas más prometedoras y limpias que puede sustituir el uso de combustibles fósiles, por lo que su estudio y desarrollo se ha vuelto un tema de gran interés en años recientes. Las celdas solares de película delgada presentan bajos costos de producción debido a que éstas pueden ser depositadas sobre vidrios, láminas metálicas o plásticos flexibles utilizando una cantidad mínima de material para la formación de la película. En este contexto tenemos al silicio amorfo hidrogenado (a-Si:H), silicio microcristalino (µc-Si:H) y silicio polimorfo (pm-Si:H), los cuales son semiconductores de gran interés en la industria fotovoltaica, porque pueden depositarse en forma de película delgada de bajo costo y producción masiva. El objetivo planteado en este trabajo fue el depósito, caracterización y estudio de películas delgadas de µc-Si:H, pm-Si:H y a-Si:H (tipo p y n) utilizando la técnica PECVD a bajas temperaturas (200 °C). La caracterización estructural, eléctrica y óptica fue determinante para seleccionar la mejor película intrínseca y dopada para la fabricación de celdas solares tipo PIN”.spaCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRASistemas de energía eléctrica--InvestigaciónRecursos energéticos renovablesSistemas de energía fotovoltaica--Diseño y construcciónPelículas delgadas--InvestigaciónCélulas solares de silicioSilicio--Propiedades eléctricasDeposición química de vapor asistida por plasmaTesis de maestríaopenAccess