Alcántara Iniesta, SalvadorSoto Cruz, SusanaCarlos Ramírez, NetzahualcoyotlALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119CARLOS RAMIREZ, NETZAHUALCOYOTL; 389994Conde Guevara, Marino2021-01-052021-01-052019-10https://hdl.handle.net/20.500.12371/9811"El estudio de un Sensor de microfluidos tipo Alambre caliente de ZnO, depositado con la técnica de Spray Pirolisis ultrasónico en sustrato de Silicio como es de gran interés por sus aplicaciones, así como la simplicidad de este sensor. El uso del humidificador ultrasónico permite obtener películas con mayor control y calidad, en comparación con otras técnicas de roció [1]. A las películas de ZnO obtenidas con esta técnica se les encontró su Coeficiente de Temperatura Resistiva (CTR); en este trabajo se describe la técnica de depósito de la película delgada, la forma de comprobación para el CTR, la elaboración de una microestructura de Silicio con tecnología Micro-Electromecánicos (MEMS) y se presentan algunos de los resultados de estas películas de ZnO como resistencia variable con el flujo de aire. El propósito de este sensor es para su aplicación en la detección de microfluidos gaseosos."pdfspaCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRANanofluidos: propiedades térmicasMicrofluidicosSistemas microelectromecánicos--Diseño y construcciónDispositivos de Microfluídicos--Diseño y construcciónBiosensoresTesis de maestríaMicrofluídicaopenAccess