Browsing by Author "Petlacalco Ramirez, Hector Eduardo"

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    Tesis de doctorado
    Diseño, modelado y simulación de un microsensor de presión o vibración basado en películas de ZnO
    (Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, 2023-05-29) Petlacalco Ramirez, Hector Eduardo; PETLACALCO RAMIREZ, HECTOR EDUARDO; 666452; ALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119; SOTO CRUZ, BLANCA SUSANA; 121129
    "El ZnO es un semiconductor que presenta interesantes características como adecuada estabilidad química y térmica, amplia banda prohibida de transición directa, estructura cristalográfica naturalmente bien definida (wurtzita con orientación preferencial (002)), alta transparencia, no es peligroso para el medio ambiente, además de ser compatible con las técnicas de microfabricación convencionales, el cual puede ser depositado por física de vapor (PVD), RF magnetrón sputtering, capas atómicas (ALD), entre otros, Sin embargo, dichos procesos requieren hacer uso de equipo especializado de alto costo además de estrictas condiciones de entorno para lograr resultados adecuados; contrario a éstos, el método de espray pirólisis ultrasónico ofrece beneficios debido a que es un procesamiento más sencillo y flexible el cual tiene como virtud la posibilidad de variar distintos parámetros durante el proceso obteniendo resultados notables en atmósfera abierta. Es por ello que el objetivo del presente trabajo es diseñar, simular y construir un prototipo microsensor de presión basado en películas de ZnO:F, depositadas por espray pirólisis ultrasónico, como elemento sensitivo sobre una estructura membrana-diafragma de silicio".