Grabado electroquímico de silicio en electrolitos a base de KOH
Date
2016-07
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Abstract
"En este trabajo se realizó un estudio del comportamiento del electrodo de Si delimitado por fotolitografía bajo condiciones de grabado electroquímico alcalino en presencia de campo eléctrico. A partir de lo anterior se muestra cómo se modifica la morfología del grabado selectivo en muestras de Si tipo p (100), aplicando valores de voltaje diferentes. También se infirió una dependencia de la velocidad de grabado con la polarización del electrodo de Si y el comportamiento físico-químico en la interfaz Si/electrolito".
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