Estudio de las propiedades de películas de oxicarburo de silicio con incorporación de erbio y europio
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2021-10
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“Este trabajo de tesis reporta un desplazamiento de emisión hacia la región azul del espectro visible de películas de oxicarburo de silicio debido a la incorporación de Europio. Las muestras fueron preparadas por medio de la técnica.Depósito de vapor químico catalítico usando tetraetoxisilano, oxido de europio y óxido de erbio como reactivos. El depósito de las películas delgadas se llevó a cabo en una cámara de reacción a una presión de vacío de 14 KPa. Se utilizó un filamento de tungsteno, el cual tuvo una temperatura de aproximadamente 1800 °C. Adicionalmente, se usó argón a un flujo de 40 sccm como gas de arrastre. El crecimiento de las películas se realizó sobre sustratos de silicio tipo. Este trabajo de tesis destaca la mejora de la emisión luminiscente, debido a la incorporación de iones de europio a una matriz de oxicarburo de silicio, usando una preparación de muestras que no ha sido usada hasta el momento para conseguir este propósito. Debido a las características del proceso de depósito utilizado, las películas se obtuvieron sin daño de plasma. Se utilizaron diversas técnicas de caracterización para determinar las propiedades de las películas”.
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