Caracterización de películas de SRO depositadas lor LPCVDen horno de 4 pulgadas cuando existen pequeñas variaciones de los gases reactivos

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dc.audiencegeneralPublic
dc.contributor.advisorJuárez Ruiz, Estela de L.
dc.contributor.advisorAceves Mijares, Mariano
dc.contributor.advisorMonfil Leyva, Karim
dc.contributor.authorCabrera López, Abraham
dc.coverage.placeTesiteca, Biblioteca Central 3er. piso
dc.date.accessioned2026-10-19T15:41:24Z
dc.date.available2026-10-19T15:41:24Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractEn este trabajo se presenta un estudio de las peliculas de SRO obtenidas con pequeñas variaciones en las presiones de los gases reactivos usando un sistema de LPCVD para cuatro pulgadas. El índice de refracción y el grosor de cada película de SRO fueron obtenidos usando elipsometría nula para determinar las constantes ópticas. El espectro de transmisión y absorbancia en el infrarrojo de las películas de SRO fueron obtenidos durante la caracterización de las películas ya que proporciona un interferograma que contiene la información espectral de la fuente. Además, los espectros de absorción y de emisión de fotoluminiscencia de cada una de las muestras de SRO fueron obtenidos usando un espectrofluorómetro. Los valores y espectros obtenidos para los depósitos de SRO con el sistema LPCVD de 4 pulgadas fueron analizados y comparados con aquellos depósitos reportados usando el sistema de 2 pulgadas. Los parámetros y condiciones de depósito óptimo de las películas de SRO por LPCVD en el horno de cuatro pulgadas fueron registradas para obtener un proceso eficiente y repetible.
dc.formatunknown
dc.identifier.bibrecordLELE2011C3C3
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/34255
dc.language.isospa
dc.publisherBenemérita Universidad Autónoma de Puebla
dc.rights.accesrestrictedAccess
dc.subject.lccConstantes ópticas--Principios variacionales--Espectroscopia de transformada de Fourier
dc.thesis.careerLicenciatura en Ciencias de la Electrónica (aparece lic. en electrónica)
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactas
dc.thesis.degreegrantorFacultad de Ciencias de la Electrónica
dc.titleCaracterización de películas de SRO depositadas lor LPCVDen horno de 4 pulgadas cuando existen pequeñas variaciones de los gases reactivos
dc.typeTesis de licenciatura
dc.type.degreeLicenciatura
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Tesis de Licenciatura