Preparación de NbSe2 mediante selenización de películas delgadas de niobio depositadas por sputtering
Date
2024-10
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Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
Abstract
"En este trabajo se presenta el desarrollo de una metodología para la obtención de seleniuro de niobio (NbSe2) a partir de la selenización de películas delgadas de Nb usando un sistema de tratamiento térmico rápido a 850°C durante 50 s, en una atmósfera reductora de H2/N2. Las películas de niobio se depositaron mediante la técnica de sputtering con magnetrón. Posteriormente, se estudió morfología, función dieléctrica y resistividad eléctrica en función del espesor de las películas de Nb para identificar el más apropiado para la obtención del NbSe2. Se encontró que la difusión de átomos de selenio en el niobio se realiza de forma eficiente en películas de niobio relativamente delgadas (26 nm), pero no las más gruesas debido el aumento de la relación área-a-volumen. El proceso de selenización inicia al depositar una película de selenio sobre las películas de niobio. El depósito de selenio se hizo mediante la técnica de electrodepósito usando un electrolito acuoso de ácido selenioso (H2SeO3) a 75 °C y aplicando un potencial de reducción de – 330 mV vs Ag/AgCl".
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