Estudio de la emisión luminiscente de películas de SRC impurificadas con itrio obtenidas por HFCVD
Date
2026-10
Authors
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Publisher
Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
Abstract
"En este trabajo de tesis se reporta un aumento de la intensidad de emisión en la región azul del espectro visible de películas de SRO impurificadas con itrio. Las películas sin y con impurificación se depositaron sobre sustratos de silicio tipo-n (SRO/Si) con orientación (100) mediante la técnica de depósito químico en fase vapor asistido por filamento caliente (HFCVD). Para el crecimiento de las películas se utilizó una fuente sólida en forma de pastilla elaborada a partir de polvos de sílice mesoporosa ordenada (SBA-15), a la cual se le incorporó itrio, con el objetivo de suministrar átomos de silicio, oxígeno e itrio durante el proceso de depósito".
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