Estudio de la emisión luminiscente de películas de SRC impurificadas con itrio obtenidas por HFCVD

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dc.audiencegeneralPublic
dc.contributorMorales Ruíz, Crisóforo
dc.contributorGaleazzi Isasmendi, Reina
dc.contributor.advisorMORALES RUIZ, CRISOFORO; 161275
dc.contributor.advisorGALEAZZI ISASMENDI, REINA; 241164
dc.contributor.authorRodríguez Meza, Miguel Arturo
dc.creatorRodríguez Meza, Miguel Arturo; 0009-0008-2310-6867
dc.date.accessioned2026-11-11T17:41:00Z
dc.date.available2026-11-11T17:41:00Z
dc.date.issued2026-10
dc.description.abstract"En este trabajo de tesis se reporta un aumento de la intensidad de emisión en la región azul del espectro visible de películas de SRO impurificadas con itrio. Las películas sin y con impurificación se depositaron sobre sustratos de silicio tipo-n (SRO/Si) con orientación (100) mediante la técnica de depósito químico en fase vapor asistido por filamento caliente (HFCVD). Para el crecimiento de las películas se utilizó una fuente sólida en forma de pastilla elaborada a partir de polvos de sílice mesoporosa ordenada (SBA-15), a la cual se le incorporó itrio, con el objetivo de suministrar átomos de silicio, oxígeno e itrio durante el proceso de depósito".
dc.folio20261005130402-5035-T
dc.formatpdf
dc.identificator1
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/34764
dc.language.isospa
dc.matricula.creator224470622
dc.publisherBenemérita Universidad Autónoma de Puebla
dc.rights.accesopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subject.classificationCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA
dc.subject.lccIngeniería (general)--Materiales de ingeniería y construcción--Materiales de composición o estructura especial--Materiales porosos
dc.subject.lccIngeniería (General)--Materiales de ingeniería y construcción--Materiales de composición o estructura especial--Películas delgadas
dc.subject.lccMateriales mesoporosos--Síntesis
dc.subject.lccPeliculas delgadas--Propiedades opticas--Evaluación
dc.subject.lccLuminiscencia--Medición
dc.subject.lccSilicio--Propiedades ópticas
dc.thesis.careerMaestría en Dispositivos Semiconductores
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactas
dc.thesis.degreegrantorInstituto de Ciencias
dc.thesis.degreetoobtainMaestro(a) en Dispositivos Semiconductores
dc.titleEstudio de la emisión luminiscente de películas de SRC impurificadas con itrio obtenidas por HFCVD
dc.typeTesis de maestría
dc.type.conacytmasterThesis
dc.type.degreeMaestría
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