Optimización de películas delgadas de silicio microcristalino y polimorfo, depositadas por la técnica PECVD, para aplicaciones en celdas solares
dc.audience | generalPublic | |
dc.contributor | Moreno Moreno, Mario | |
dc.contributor | Meza Espinoza, Luis Octavio | |
dc.contributor.advisor | MORENO MORENO, MARIO; 102203 | |
dc.contributor.advisor | MEZA ESPINOSA, LUIS OCTAVIO; 167821 | |
dc.contributor.author | Luna Zempoalteca, Xochilt | |
dc.creator | LUNA ZEMPOALTECA, XOCHILT; 709945 | |
dc.date.accessioned | 2019-05-24T17:09:58Z | |
dc.date.available | 2019-05-24T17:09:58Z | |
dc.date.issued | 2018-01 | |
dc.description.abstract | "El objetivo planteado en este trabajo fue el depósito, caracterización y estudio de películas delgadas de μc-Si:H, pm-Si:H y a-Si:H (tipo p y n) utilizando la técnica PECVD a bajas temperaturas (200 °C). La caracterización estructural, eléctrica y óptica fue determinante para seleccionar la mejor película intrínseca y dopada para la fabricación de celdas solares tipo PIN cuya estructura es la siguiente: sustrato de vidrio / ITO / película de a-Si:H tipo p / película intrínseca (pm-Si:H ó 𝜇c-Si:H) /película a-Si:H tipo n / contacto de Ag. Los resultados preliminares muestran que la mejor película intrínseca fue la de 𝜇c-Si:H depositada a 10 W con una fotorespuesta (σph/σD) de 2.79 E5, mientras que las películas de a-Si:H tipo p y n depositadas con un flujo de 15 sccm de B2H6 y 10 sccm de PH3, respectivamente, muestran una buena conductividad a temperatura ambiente (𝜎𝐷) y baja energía de activación (Ea). Estas películas nos permitieron obtener una celda PIN con una eficiencia cercana al 2%." | |
dc.folio | 069118T | |
dc.format | ||
dc.identificator | 1 | |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/20.500.12371/1165 | |
dc.language.iso | spa | |
dc.matricula.creator | 21547122T | |
dc.publisher | Benemérita Universidad Autónoma de Puebla | |
dc.rights.acces | openAccess | |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4 | |
dc.subject.classification | Ciencias Físico Matemáticas y Ciencias de la Tierra | |
dc.subject.dbgunam | Películas delgadas | |
dc.subject.lcc | Células solares | |
dc.thesis.career | Maestría en Ciencias (Especialidad en Ciencia de los Materiales) | |
dc.thesis.degreediscipline | Área de Ingeniería y Ciencias Exactas | |
dc.thesis.degreegrantor | Instituto de Física "Ing. Luis Rivera Terrazas" | |
dc.title | Optimización de películas delgadas de silicio microcristalino y polimorfo, depositadas por la técnica PECVD, para aplicaciones en celdas solares | |
dc.type | Tesis | |
dc.type.conacyt | masterThesis | |
dc.type.degree | Maestría | |
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