Sensor de presión capacitivo en silicio micromaquinado
Date
2015-12
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“Este trabajo tiene como objetivo la fabricación de un microsensor de presión capacitivo, mediante la aplicación de la técnica de Micro maquinado, cuya finalidad es la detección de las presiones fisiológicas típicas de una persona adulta. El trabajo involucra el diseño del proceso tecnológico, desde la obtención de las mascarillas para el fotolito grabado, hasta el micro maquinado del silicio, la definición de las características físicas del sensor y el análisis mecánico y eléctrico, que permita entender, simular y evaluar el funcionamiento del dispositivo. Mediante el diseño de la estructura y la fabricación del elemento sensitivo del sensor, se obtendrá un sensor capacitivo cuadrado de 5𝑚������𝑚������𝑥������ 5𝑚������𝑚������𝑥������ 280𝜇������𝑚������ con una masa móvil de 1𝑚������𝑚������𝑥������ 1𝑚������𝑚������𝑥������ 280𝜇������𝑚������, que sea susceptible a los cambios de presión dentro de un rango de 0 a 40kPa (0-300mmHg). Para una primera aproximación a la investigación de fenómenos, desarrollo de nuevas tecnologías o aplicaciones de dispositivos micro electromecánicos, el uso de los métodos comerciales de fabricación puede no ser la mejor opción debido a los recursos, tiempos, tecnologías, costos, entre otros factores. Por lo que una técnica de fabricación más flexible que permita obtener resultados preliminares satisfactorios puede ser una buena alternativa para cualquier persona interesada en el estudio y desarrollo de MEMS y sus aplicaciones”.
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