Sensor de presión capacitivo en silicio micromaquinado

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dc.audiencegeneralPublices_MX
dc.contributorAlcántara Iniesta, Salvador
dc.contributorAlvarado Pulido, José Joaquín
dc.contributor.advisorALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119
dc.contributor.advisorALVARADO PULIDO, JOSE JOAQUIN; 43237
dc.contributor.authorMartínez Díaz, Leonardo
dc.date.accessioned2020-11-23T22:41:53Z
dc.date.available2020-11-23T22:41:53Z
dc.date.issued2015-12
dc.description.abstract “Este trabajo tiene como objetivo la fabricación de un microsensor de presión capacitivo, mediante la aplicación de la técnica de Micro maquinado, cuya finalidad es la detección de las presiones fisiológicas típicas de una persona adulta. El trabajo involucra el diseño del proceso tecnológico, desde la obtención de las mascarillas para el fotolito grabado, hasta el micro maquinado del silicio, la definición de las características físicas del sensor y el análisis mecánico y eléctrico, que permita entender, simular y evaluar el funcionamiento del dispositivo. Mediante el diseño de la estructura y la fabricación del elemento sensitivo del sensor, se obtendrá un sensor capacitivo cuadrado de 5𝑚������𝑚������𝑥������ 5𝑚������𝑚������𝑥������ 280𝜇������𝑚������ con una masa móvil de 1𝑚������𝑚������𝑥������ 1𝑚������𝑚������𝑥������ 280𝜇������𝑚������, que sea susceptible a los cambios de presión dentro de un rango de 0 a 40kPa (0-300mmHg). Para una primera aproximación a la investigación de fenómenos, desarrollo de nuevas tecnologías o aplicaciones de dispositivos micro electromecánicos, el uso de los métodos comerciales de fabricación puede no ser la mejor opción debido a los recursos, tiempos, tecnologías, costos, entre otros factores. Por lo que una técnica de fabricación más flexible que permita obtener resultados preliminares satisfactorios puede ser una buena alternativa para cualquier persona interesada en el estudio y desarrollo de MEMS y sus aplicaciones”. es_MX
dc.folio803315TLes_MX
dc.formatpdfes_MX
dc.identificator7es_MX
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/9247
dc.language.isospaes_MX
dc.matricula.creator200908445es_MX
dc.rights.accesopenAccesses_MX
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0es_MX
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍAes_MX
dc.subject.lccBiotecnologíaes_MX
dc.subject.lccSistemas microelectromecánicoses_MX
dc.subject.lccDispositivos electromecánicoses_MX
dc.subject.lccCircuitos integrados digitales--Diseño y construcciónes_MX
dc.thesis.careerLicenciatura en Ingeniería en Mecatrónicaes_MX
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactases_MX
dc.thesis.degreegrantorFacultad de Ciencias de la Electrónicaes_MX
dc.thesis.degreetoobtainIngeniero (a) en Mecatrónicaes_MX
dc.titleSensor de presión capacitivo en silicio micromaquinadoes_MX
dc.typeTesis de licenciaturaes_MX
dc.type.conacytbachelorThesises_MX
dc.type.degreeLicenciaturaes_MX
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