Diseño, modelado y simulación de un microsensor de presión o vibración basado en películas de ZnO

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dc.audiencegeneralPublices_MX
dc.contributorAlcántara Iniesta, Salvador
dc.contributorSoto Cruz, Blanca Susana
dc.contributor.advisorALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119
dc.contributor.advisorSOTO CRUZ, BLANCA SUSANA; 121129
dc.contributor.authorPetlacalco Ramirez, Hector Eduardo
dc.creatorPETLACALCO RAMIREZ, HECTOR EDUARDO; 666452
dc.date.accessioned2023-10-26T17:05:29Z
dc.date.available2023-10-26T17:05:29Z
dc.date.issued2023-05-29
dc.description.abstract"El ZnO es un semiconductor que presenta interesantes características como adecuada estabilidad química y térmica, amplia banda prohibida de transición directa, estructura cristalográfica naturalmente bien definida (wurtzita con orientación preferencial (002)), alta transparencia, no es peligroso para el medio ambiente, además de ser compatible con las técnicas de microfabricación convencionales, el cual puede ser depositado por física de vapor (PVD), RF magnetrón sputtering, capas atómicas (ALD), entre otros, Sin embargo, dichos procesos requieren hacer uso de equipo especializado de alto costo además de estrictas condiciones de entorno para lograr resultados adecuados; contrario a éstos, el método de espray pirólisis ultrasónico ofrece beneficios debido a que es un procesamiento más sencillo y flexible el cual tiene como virtud la posibilidad de variar distintos parámetros durante el proceso obteniendo resultados notables en atmósfera abierta. Es por ello que el objetivo del presente trabajo es diseñar, simular y construir un prototipo microsensor de presión basado en películas de ZnO:F, depositadas por espray pirólisis ultrasónico, como elemento sensitivo sobre una estructura membrana-diafragma de silicio".es_MX
dc.folio20230530150541-0890-Tes_MX
dc.formatpdfes_MX
dc.identificator1es_MX
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/19322
dc.language.isospaes_MX
dc.matricula.creator219570199es_MX
dc.publisherBenemérita Universidad Autónoma de Pueblaes_MX
dc.rights.accesopenAccesses_MX
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0es_MX
dc.subject.classificationCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRAes_MX
dc.subject.lccProcesamiento de señales--Equipos y aparatos--Diseño
dc.subject.lccSistemas microelectromecánicos--Simulación por computadora
dc.subject.lccSistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción--Invetigación
dc.subject.lccFotolitografía
dc.subject.lccSistemas microelectromecánicos--Materiales
dc.subject.lccPelículas delgadas
dc.subject.lccTransductores de presión
dc.thesis.careerDoctorado en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactases_MX
dc.thesis.degreegrantorInstituto de Cienciases_MX
dc.thesis.degreetoobtainDoctor(a) en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.titleDiseño, modelado y simulación de un microsensor de presión o vibración basado en películas de ZnOes_MX
dc.typeTesis de doctoradoes_MX
dc.type.conacytdoctoralThesises_MX
dc.type.degreeDoctoradoes_MX
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