Determinación del grosor de una película delgada mediante la combinación de micro-interferometría óptica y análisis digital de imágenes

Date
2019-12
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Publisher
Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
Abstract
"Se presenta un método para determinar de manera precisa el grosor de películas delgadas. Se utiliza un microscopio óptico de polarización de luz reflejada implementado para Microscopía de Contrate de Interferencia Total (TIC, por sus siglas en inglés), para obtener patrones de micro-interferencia. Las imágenes son analizadas mediante un algoritmo de computadora desarrollado para encontrar los centros de tres curvas gaussianas sobre una misma fila (barrido horizontal) haciendo uso de los niveles de intensidad de la imagen. Las curvas gaussianas corresponden a tres franjas de interferencia, dos de referencia y la franja desplazada debido al grosor de la película delgada. Este proceso se realizó barriendo varias filas siguiendo las mismas tres franjas (barrido vertical), obteniendo así tres conjuntos de datos los cuales corresponden a los centros de cada una de las franjas."
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