Caracterización de películas delgadas de óxido de zinc con aluminio (AZO) depositadas mediante erosión catódica modulando la potencia de plasma durante el crecimiento
Date
2020-11-06
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"En este trabajo se realizó el depósito sistemático de AZO por la técnica de erosión catódica, modulando la potencia del plasma durante el crecimiento, manteniendo los parámetros de tiempo de depósito, presión de argón, y temperatura constante.
Se caracterizaron las muestras obtenidas desde el punto de vista óptico, eléctrico y estructural, mediante espectroscopia de transmitancia y/o absorbancia Uv-vis, efecto Hall, difracción de rayos X, microscopía de fuerza atómica (AFM) y microscopía electrónica de barrido (SEM); permitiendo monitorear los cambios en las propiedades físicas de las películas crecidas."
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