Caracterización de películas delgadas de óxido de zinc con aluminio (AZO) depositadas mediante erosión catódica modulando la potencia de plasma durante el crecimiento

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dc.audiencegeneralPublices_MX
dc.contributorRosendo Andrés, Enrique
dc.contributorDíaz Becerril, Tomás
dc.contributorPérez Ladrón de Guevara, Héctor
dc.contributor.advisorROSENDO ANDRES, ENRIQUE; 22044
dc.contributor.advisorPEREZ LADRON DE GUEVARA, HECTOR; 37383
dc.contributor.authorCarranza Sánchez, Ana Cristina
dc.date.accessioned2021-01-07T01:25:34Z
dc.date.available2021-01-07T01:25:34Z
dc.date.issued2020-11-06
dc.description.abstract"En este trabajo se realizó el depósito sistemático de AZO por la técnica de erosión catódica, modulando la potencia del plasma durante el crecimiento, manteniendo los parámetros de tiempo de depósito, presión de argón, y temperatura constante. Se caracterizaron las muestras obtenidas desde el punto de vista óptico, eléctrico y estructural, mediante espectroscopia de transmitancia y/o absorbancia Uv-vis, efecto Hall, difracción de rayos X, microscopía de fuerza atómica (AFM) y microscopía electrónica de barrido (SEM); permitiendo monitorear los cambios en las propiedades físicas de las películas crecidas."es_MX
dc.folio20201022153439-3805-Tes_MX
dc.formatpdfes_MX
dc.identificator1es_MX
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/9838
dc.language.isospaes_MX
dc.matricula.creator218470585es_MX
dc.rights.accesopenAccesses_MX
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0es_MX
dc.subject.classificationCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRAes_MX
dc.subject.lccCeldas solareses_MX
dc.subject.lccPulverización catódica (Física)es_MX
dc.subject.lccSemiconductores dopadoses_MX
dc.subject.oclcÓxido conductor transparentees_MX
dc.thesis.careerMaestría en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactases_MX
dc.thesis.degreegrantorInstituto de Cienciases_MX
dc.thesis.degreetoobtainMaestro(a) en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.titleCaracterización de películas delgadas de óxido de zinc con aluminio (AZO) depositadas mediante erosión catódica modulando la potencia de plasma durante el crecimientoes_MX
dc.typeTesis de maestríaes_MX
dc.type.conacytmasterThesises_MX
dc.type.degreeMaestríaes_MX
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