Síntesis y caracterización de películas delgadas de carbono amorfo nitrurado mediante la técnica de haz de electrones
Date
2005-10
Authors
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Publisher
Benemérita Universidad Autónoma de Puebla
Abstract
"El interés actual en las películas delgadas de carbono amorfo (a-C) y carbono amorfo nitrurado (a-C:N) radica en sus propiedades mecánicas, ópticas y tribológicas, resultado de la combinación de enlaces sp² y sp³. La incorporación de nitrógeno en la estructura reduce tensiones internas y mejora las características del material, haciéndolo atractivo para aplicaciones en dispositivos microelectrónicos y recubrimientos de protección. Aunque diversas técnicas de depósito han sido exploradas, la síntesis mediante haz de electrones ha sido poco reportada. Este trabajo busca sintetizar y caracterizar películas de a-C y a-C:N utilizando esta técnica, explorando parámetros como distancia blanco/sustrato, tiempo de depósito y tratamientos térmicos. La caracterización incluye espectroscopía Raman e IR (para analizar enlaces químicos), EDS (composición elemental), espectrofotometría y elipsometría (propiedades ópticas), SEM y AFM (morfología superficial), difracción de rayos X (estructura cristalina o amorfa), medición de conductividad y efecto Hall (propiedades electrónicas), y perfilometría (espesor de las capas). Los resultados obtenidos permitirán evaluar la viabilidad del depósito de estos materiales por haz de electrones, ofreciendo una alternativa atractiva y limpia frente a otras técnicas tradicionales de síntesis de películas delgadas de carbono".
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