Síntesis y caracterización de películas delgadas de carbono amorfo nitrurado mediante la técnica de haz de electrones

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dc.contributorLozada Morales, Rosendo
dc.contributorZelaya Ángel, Orlando
dc.contributor.advisorZELAYA ANGEL, ORLANDO; 10117
dc.contributor.authorRebollo Plata, Bernabé
dc.date.accessioned2025-06-25T21:10:45Z
dc.date.available2025-06-25T21:10:45Z
dc.date.issued2005-10
dc.description.abstract"El interés actual en las películas delgadas de carbono amorfo (a-C) y carbono amorfo nitrurado (a-C:N) radica en sus propiedades mecánicas, ópticas y tribológicas, resultado de la combinación de enlaces sp² y sp³. La incorporación de nitrógeno en la estructura reduce tensiones internas y mejora las características del material, haciéndolo atractivo para aplicaciones en dispositivos microelectrónicos y recubrimientos de protección. Aunque diversas técnicas de depósito han sido exploradas, la síntesis mediante haz de electrones ha sido poco reportada. Este trabajo busca sintetizar y caracterizar películas de a-C y a-C:N utilizando esta técnica, explorando parámetros como distancia blanco/sustrato, tiempo de depósito y tratamientos térmicos. La caracterización incluye espectroscopía Raman e IR (para analizar enlaces químicos), EDS (composición elemental), espectrofotometría y elipsometría (propiedades ópticas), SEM y AFM (morfología superficial), difracción de rayos X (estructura cristalina o amorfa), medición de conductividad y efecto Hall (propiedades electrónicas), y perfilometría (espesor de las capas). Los resultados obtenidos permitirán evaluar la viabilidad del depósito de estos materiales por haz de electrones, ofreciendo una alternativa atractiva y limpia frente a otras técnicas tradicionales de síntesis de películas delgadas de carbono".
dc.folio20250508134552-9173-T
dc.formatpdf
dc.identificator1
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/28968
dc.language.isospa
dc.matricula.creator225700048
dc.publisherBenemérita Universidad Autónoma de Puebla
dc.rights.accesopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subject.classificationCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA
dc.subject.lccFísica--Constitución y propiedades de la materia--Sólidos--Películas delgadas
dc.subject.lccMateriales nanoestructurados--Síntesis
dc.subject.lccPelículas delgadas--Materiales
dc.subject.lccSustancias amorfas
dc.subject.lccPelículas delgadas--Superficies--Análisis
dc.thesis.careerDoctorado en Ciencias (Física Aplicada)
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactas
dc.thesis.degreegrantorFacultad de Ciencias Físico Matemáticas
dc.thesis.degreetoobtainDoctor (a) en Ciencias (Física Aplicada)
dc.titleSíntesis y caracterización de películas delgadas de carbono amorfo nitrurado mediante la técnica de haz de electrones
dc.typeTesis de doctorado
dc.type.conacytdoctoralThesis
dc.type.degreeDoctorado
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Tesis de Doctorado