Estudio de un sensor de microfluidos de alambre caliente con ZnO

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dc.audiencegeneralPublices_MX
dc.contributorAlcántara Iniesta, Salvador
dc.contributorSoto Cruz, Susana
dc.contributorCarlos Ramírez, Netzahualcoyotl
dc.contributor.advisorALCANTARA INIESTA, SALVADOR; 68119
dc.contributor.advisorCARLOS RAMIREZ, NETZAHUALCOYOTL; 389994
dc.contributor.authorConde Guevara, Marino
dc.creatorCONDE GUEVARA, MARINO; 850478
dc.date.accessioned2021-01-05T18:04:16Z
dc.date.available2021-01-05T18:04:16Z
dc.date.issued2019-10
dc.description.abstract"El estudio de un Sensor de microfluidos tipo Alambre caliente de ZnO, depositado con la técnica de Spray Pirolisis ultrasónico en sustrato de Silicio como es de gran interés por sus aplicaciones, así como la simplicidad de este sensor. El uso del humidificador ultrasónico permite obtener películas con mayor control y calidad, en comparación con otras técnicas de roció [1]. A las películas de ZnO obtenidas con esta técnica se les encontró su Coeficiente de Temperatura Resistiva (CTR); en este trabajo se describe la técnica de depósito de la película delgada, la forma de comprobación para el CTR, la elaboración de una microestructura de Silicio con tecnología Micro-Electromecánicos (MEMS) y se presentan algunos de los resultados de estas películas de ZnO como resistencia variable con el flujo de aire. El propósito de este sensor es para su aplicación en la detección de microfluidos gaseosos."es_MX
dc.folio20201022153504-8559-Tes_MX
dc.formatpdfes_MX
dc.identificator1es_MX
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12371/9811
dc.language.isospaes_MX
dc.matricula.creator217470710es_MX
dc.publisherBenemérita Universidad Autónoma de Pueblaes_MX
dc.rights.accesopenAccesses_MX
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0es_MX
dc.subject.classificationCIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRAes_MX
dc.subject.dbgunamMicrofluídicaes_MX
dc.subject.lccNanofluidos: propiedades térmicases_MX
dc.subject.lccMicrofluidicoses_MX
dc.subject.lccSistemas microelectromecánicos--Diseño y construcciónes_MX
dc.subject.lccDispositivos de Microfluídicos--Diseño y construcciónes_MX
dc.subject.lccBiosensoreses_MX
dc.thesis.careerMaestría en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.thesis.degreedisciplineÁrea de Ingeniería y Ciencias Exactases_MX
dc.thesis.degreegrantorInstituto de Cienciases_MX
dc.thesis.degreetoobtainMaestro(a) en Dispositivos Semiconductoreses_MX
dc.titleEstudio de un sensor de microfluidos de alambre caliente con ZnOes_MX
dc.typeTesis de maestríaes_MX
dc.type.conacytmasterThesises_MX
dc.type.degreeMaestríaes_MX
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